半導(dǎo)體凈化車間級(jí)別
作者： 廣東卓為環(huán)境科技有限公司官網(wǎng)發(fā)表時(shí)間：2024-09-25 09:08:01瀏覽量：282【小中大】
半導(dǎo)體凈化車間級(jí)別主要根據(jù)空氣中允許的顆粒物數(shù)量和大小來(lái)劃分，以確保半導(dǎo)體制造過(guò)程中的高潔凈度環(huán)境。以下是半導(dǎo)體凈化車間級(jí)別的詳細(xì)劃分和歸納：
半導(dǎo)體凈化車間級(jí)別
ISO潔凈度等級(jí)：
ISO 14644是國(guó)際上常用...
文本標(biāo)簽：凈化工程造價(jià)，半導(dǎo)體無(wú)塵車間，凈化工程公司
半導(dǎo)體凈化車間級(jí)別主要根據(jù)空氣中允許的顆粒物數(shù)量和大小來(lái)劃分，以確保半導(dǎo)體制造過(guò)程中的高潔凈度環(huán)境。以下是半導(dǎo)體凈化車間級(jí)別的詳細(xì)劃分和歸納：
半導(dǎo)體凈化車間級(jí)別
ISO潔凈度等級(jí)：
ISO 14644是國(guó)際上常用的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，它定義了從ISO 1（最高潔凈度）到ISO 9（最低潔凈度）的多個(gè)等級(jí)。但在半導(dǎo)體制造中，通常使用更高的潔凈度等級(jí)。
常見(jiàn)半導(dǎo)體凈化車間等級(jí)：
ISO 5級(jí)（Class 100）：潔凈室內(nèi)每立方米空氣中直徑大于0.1μm的顆粒數(shù)不超過(guò)100個(gè)。這是半導(dǎo)體制造中常用的高潔凈度等級(jí)，用于關(guān)鍵的生產(chǎn)步驟。
ISO 6級(jí)（Class 1000）：潔凈室內(nèi)每立方米空氣中直徑大于0.1μm的顆粒數(shù)不超過(guò)1000個(gè)。用于對(duì)潔凈度要求稍低的生產(chǎn)步驟。
ISO 7級(jí)（Class 10000）：潔凈室內(nèi)每立方米空氣中直徑大于0.5μm的顆粒數(shù)不超過(guò)10000個(gè)。在一些半導(dǎo)體制造過(guò)程中，這個(gè)等級(jí)也被采用。
其他等級(jí)劃分：
100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)和100000級(jí)：這是另一種常見(jiàn)的潔凈度等級(jí)劃分方式，其中100級(jí)對(duì)應(yīng)ISO 5級(jí)，1000級(jí)對(duì)應(yīng)ISO 6級(jí)，以此類推。
超凈間（ULTRAZONE Rooms）：
超凈間也稱為無(wú)菌室或生物安全柜，其空間要求比千級(jí)潔凈室更高。在超凈間內(nèi)工作的人員必須穿特殊的隔離服并帶面罩和手套才能進(jìn)入室內(nèi)操作。
潔凈度等級(jí)對(duì)半導(dǎo)體制造的影響
潔凈度等級(jí)越高，車間內(nèi)空氣中的顆粒物和微生物含量就越低，從而降低了半導(dǎo)體材料受到污染的風(fēng)險(xiǎn)，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。
不同等級(jí)的潔凈室適用于不同的半導(dǎo)體制造過(guò)程，以滿足不同的工藝要求和質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。
總結(jié)
半導(dǎo)體凈化車間的級(jí)別劃分主要基于ISO 14644標(biāo)準(zhǔn)，常見(jiàn)的等級(jí)包括ISO 5級(jí)（Class 100）、ISO 6級(jí)（Class 1000）和ISO 7級(jí)（Class 10000）。這些等級(jí)通過(guò)控制車間內(nèi)空氣中的顆粒物數(shù)量來(lái)確保半導(dǎo)體制造過(guò)程的高潔凈度環(huán)境。同時(shí)，超凈間作為更高要求的潔凈環(huán)境，也在特定工藝步驟中得到應(yīng)用。
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