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無(wú)塵車(chē)間有那些分類(lèi),都有哪些作用優(yōu)勢

作者: 廣東卓為環(huán)境科技有限公司官網(wǎng)發(fā)表時(shí)間:2017-09-20 10:31:00瀏覽量:3285

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  1.亂流式(Turbulent Flow):

  空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵車(chē)間內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由無(wú)塵車(chē)間兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

  2.層流式(Laminar):

  層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形,空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng),此型式適用于潔凈室等級需求較高之環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:

  (1)無(wú)塵車(chē)間水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。

  (2)無(wú)塵車(chē)間垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。

  3.復合式(Mixed Type):

  復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。

  (1)無(wú)塵車(chē)間潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴充容易; B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。

  (2)無(wú)塵車(chē)間潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

  (3)無(wú)塵車(chē)間并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;即屬此類(lèi)。

  潔凈工作臺:等級Class 1~100級。

  潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10M2以下,四支支柱并加裝活動(dòng)輪,可為彈性運用。

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