潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設備排風(fēng)按需受控,照度、無(wú)塵車(chē)間截面風(fēng)速按設計或規范受控，另外該類(lèi)無(wú)塵車(chē)間對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過(guò)于干燥的廠(chǎng)房?jì)葮O易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。

      一般來(lái)說(shuō)，電子廠(chǎng)房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規定)。 這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間是屬于電子制造行業(yè)無(wú)塵車(chē)間的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對室內空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時(shí)還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。

　　●電子制造廠(chǎng)萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間內的噪聲級(空態(tài))：不應大于65dB(A)

　　●電子制造廠(chǎng)無(wú)塵車(chē)間垂直流無(wú)塵車(chē)間滿(mǎn)布比不應小于60%，水平單向流無(wú)塵車(chē)間不應小于40%，否則就是局部單向流了。

　　●電子制造廠(chǎng)無(wú)塵車(chē)間與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa

　　● 電子制造行業(yè)萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間內的新鮮空氣量應取下列二項中的大值：

　　● 補償室內排風(fēng)量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

　　● 保證供給無(wú)塵車(chē)間內每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。

　　電子制造行業(yè)無(wú)塵車(chē)間凈化空調系統加熱器，應設置新風(fēng)，超溫斷電保護，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應設置無(wú)水保護，寒冷地區，新風(fēng)系統應設置防凍保護措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量，應取下面三項大值：

　　●保證電子制造廠(chǎng)無(wú)塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量

　　●根據熱，濕負荷計算確定電子廠(chǎng)無(wú)塵車(chē)間的送風(fēng)量

　　●向電子制造廠(chǎng)無(wú)塵車(chē)間內供給的新鮮空氣量